Масс-спектрометрические гелиевые течеискатели VIC серии MS оснащены анализатором с 180° фокусировкой в постоянном магнитном поле с двойной магнитной системой, которая обеспечивает поворот пучка заряженных ионов 2 × 90°. Наличие двух катодов позволяет не прерывать процесс поиска течей в случае выхода из строя одного из них.
Гелиевые течеискатели MS обладают всеми необходимыми конструктивными особенностями, позволяющими проводить поиск течей любым из существующих методов. В отличие от гелиевых течеискателей других производителей, течеискатели MS способны производить гарантированный поиск течей как в системах малого объема, так и в больших камерах объемом более 10 м3, не требуя при этом создания низкого давления. Встроенная калиброванная течь позволяет проводить калибровку течеискателя, если это необходимо.
В качестве форвакуумного насоса в гелиевых течеискателях MS может использоваться как масляный пластинчато-роторный насос, так и полностью безмасляная комбинация двухступенчатого диафрагменного насоса с молекулярным бустерным насосом (версия Dry). Любой течеискатель может быть оснащен дополнительным внешним форвакуумным насосом для увеличения скорости откачки и возможности поиска течей в системах большого объема. Управление течеискателем осуществляется с помощью традиционной кнопочной панели или же при помощи сенсорного экрана.
Корпус стандартной версии течеискателя изготавливается из алюминия, но в качестве опции корпус может быть изготовлен из нержавеющей стали для помещений с высокими требованиями вакуумной гигиены.
К особенностям течеискателей серии MS можно отнести:
- включение одной кнопкой;
- выход на рабочий режим за 3 минуты;
- применение дополнительного бустерного молекулярного насоса в сухих версиях;
- автоматическая калибровка;
- корректировка показаний прибора в зависимости от температуры встроенной течи;
- автоматическая блокировка при нарушении стандартной работы.
Большое количество аксессуаров и запасных частей значительно облегчает работу и обслуживание течеискателей MS. Течеискатели VIC серии MS имеют несколько модификаций.
MS-40
Течеискатель MS-40 является самым младшим в линейке гелиевых течеискателей VIC, но в то же время и одним из самых проверенных приборов в этой области. Компактные размеры и небольшой вес MS-40 позволяют проводить его установку и испытания на герметичность одному человеку. Данный течеискатель способен регистрировать поток гелия в диапазоне 1x10-4 – 5x10-12 Па x м3/с при использовании стандартных установленных откачных средств и в диапазоне 1 – 5x10-12 Па x м3/с при использовании внешнего насоса.
MS-50
Течеискатель MS-50 представляет группу консольных гелиевых течеискателей, оборудованных внешним монитором, а также двумя высокопроизводительными форвакуумными насосами, позволяющими сократить время откачки тестируемого объекта. Консольные гелиевые течеискатели такого типа имеют 50 встроенных режимов испытаний и используются в тех областях, где требуется максимально точное измерение потока гелия: полупроводниковая промышленность, электроника, научные исследования и т.п. Приборы разрабатываются под задачи каждого конкретного заказчика, для наилучшего соответствия требованиям процесса контроля герметичности.
Течеискатели серии MS-50 представлены разнообразными моделями для решения различных задач. В частности выпускаются:
- высокочувствительные течеискатели (модификация MS-50HS);
- высокопроизводительные течеискатели для полупроводниковой промышленности;
- течеискатели для контроля предварительно опрессованных изделий;
- течеискатели с двумя портами для контроля двух объектов;
- течеискатели с использованием в качестве пробного газа аргона.
MS-60
Течеискатель MS-60 является наиболее современным прибором в линейке течеискателей VIC. Высокая чувствительность до 5x10-13Па x м3/с, сенсорный экран, производительные насосы наравне с небольшими габаритными размерами позволяют применять эти течеискатели во многих сферах научной и промышленной деятельности. Наличие трех режимов автоматического обнуления позволяет снизить влияние гелиевого фона на измерения до минимума.
Технические характеристики течеискателей MS:
| Модель | MS-40 | MS-50 (MS-50HS) | MS-60 |
|---|---|---|---|
| Чувствительность, Па·м3/с в режиме вакуумных испытаний в режиме щупа |
4·10-12 5·10-8 |
3·10-12 1·10-9 |
5·10-13 1·10-9 |
| Диапазон измерений потока, Па·м3/с без дополнительного насоса с дополнительным насосом |
1·10-4 - 4·10-12 1 - 4·10-11 |
1 - 3·10-11 |
1·10-4 - 5·10-13 1 - 5·10-13 |
| Режим работы | Автоматический/ручной | ||
| Время выхода на режим, мин | < 3 | ||
| Время отклика, с | 2 | ||
| Резрешение по He4 | 14 | ||
| Максимальное рабочее давление, мм.рт.ст. в стандартной комплектации с дополнительным насосом |
7,5 760 |
7,5 100 |
7,5 750 |
| Определяемые массы | He3, He4 | ||
| Единицы измерения | атм.см3/с, мбар·л/с, Па·м3/с | ||
| Режимы работы течеискателя | Прямоток, противоток, байпас | ||
| Высоковакуумный турбомолекулярный насос, л/с | 61 | ||
| Форвакуумный насос, м/ч стандартная версия (пластинчато-роторный) Dry версия (комбинация диафрагменного и молекулярного) |
2 27 |
11,5+27(доп.) 8,5+17(доп.) |
11,5 27 |
| Контроль давления | 2 датчика Пирани (на входе/фор.насос) + ионизационный датчик в камере анализатора | ||
| Входной фланец течеискателя | NW25 | 1,125” патрубок / NW25 | NW25 |
| Габаритные размеры, мм | 527 × 381 × 356 | 654 × 778 × 895 | 533 × 429 × 419 |
| Вес, кг | 39,5 | 215,45 | 60,3 |
